隧道洁净室正是着眼于发掘这4个区的独立功能。所以在中央布置交通区。两侧布置洁净区和操作区，洁净区内侧为维护区。为此，常用以下两种平面布置形式：
国外也有叫“海弯”式的，当工序较多时，或者每一大工序中又有许多小工序时。可以以用这种布置方法。这也是在一个大车间中不分隔，而由许多小的隧道式洁净室，组成一个相当于许多洁净隧道并列的方案。
A各区可分别按需要的洁净度设计，例如洁净区为1-10级，操作区为100级、交通区为l000级维护区为10000级。B对洁净区和操作区的变动很自由。
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