我国半导体产业正在迅速崭露头角，成为全球半导体市场的重要参与者。在这个快速发展的背景下，国内的前道量测检测设备供应商也蓬勃发展，覆盖了半导体生产过程中的各个关键步骤，包括晶圆制备、刻蚀、光刻、清洗等，确保每个步骤都达到了高质量的标准，以满足不断增长的市场需求。
接下来我们就着重盘点当前国内半导体前道量测检测设备翘楚企业，数据源来自国内领先的商业情报数据平台企名片Quickin：
睿励科学仪器创建于2005年，总部设立在张江，研发和销售团队分布于北京、上海、西安、武汉等地。公司从事集成电路生产制造工艺检测设备的开发和研制。公司膜厚测量、缺陷检测及光学关键尺寸测量等设备已为国内近20家前道半导体晶圆制造客户所采用，在不同的生产工艺产线上通过了大规模量产验证（累计数以亿计的晶圆跑片数），无论是设备稳定性还是快速响应解决问题的能力都得到了客户认可，在帮助产线提高生产效率，提升良率，降低设备拥有成本等方面成果显著。
深圳中科飞测科技有限公司是与中科院微电子研究所深入合作、自主研发和生产工业智能检测装备的高科技创新企业，检测技术在行业处于国际前沿地位，检测设备在高端市场实现设备的国产化。公司产品拥有完整的自主知识产权，最具代表的产品和服务有：微纳三维形貌量测系统Cypress系列，厚度和形貌量测系统Cypress-T系列，表面缺陷检测系统Spruce系列，智能视觉检测系统Birch系列等，以及正在研发中的工业制造三坐标检测设备Pine，其中Cypress和Spruce两款产品已经投入国内多家旗舰型大客户使用。
微崇半导体总部位于上海，由领先的海归半导体技术团队发起，与国内资深科学家和工程师共同创立，致力于成为世界先进的半导体检测设备研发生产商。立足于前沿创新的晶圆检测技术，微崇半导体可实现对晶圆的非接触、无损伤、在线、快速、内部检测，精准判别与定位晶圆缺陷，在研发、爬坡、量产各个阶段为客户带来巨大价值，也为半导体前道检测产业的巨大革新提供了新的动力。
南京中安半导体设备有限公司是一家由美国硅谷顶尖半导体公司资深技术总监和开发半导体生产检测设备丰富经验的工程师团队创建的公司。公司致力于打破国外对尖端半导体检测设备的垄断、为“中国芯”崛起助力，专业从事半导体生产线精密检测设备的研发和生产。
御微半导体是一家以技术和市场双轮驱动，为集成电路制造提供先进装备的高新技术企业。御微立足集成电路前道量检测领域，聚焦集成电路光学量检测系统设计与系统集成，围绕集成电路装备自主化，已经形成了掩模版检测、晶圆检测、泛半导体检测、晶圆测量四大领域六大类量检测产品。其自主研发的掩模缺陷检测、晶圆缺陷检测及晶圆套刻测量设备，多项指标均优于国内国际同类型竞品，并获得了国内多家头部晶圆厂的认可及批量订单。
东方晶源主要产品为纳米级检测装备和光刻机与制程优化系列软件产品，其中光刻机优化和计算光刻软件，采用CPU+GPU 混合超算技术以及深度机器学习的建模和仿真技术，拥有创新的全芯片ILT（反向光刻）技术，使得掩膜优化（OPC）实现了从“艺术”到“科学”的跨越；另外纳米级检测设备产品为国内首台电子束缺陷检测设备，拥有精密的电子束扫面成像系统、晶圆装载与互锁系统和高真空工件台系统，配合自主研发的缺陷检测和自动分类(ADC)算法，提供完整的纳米级缺陷检测和分析解决方案。
深圳市埃芯半导体科技有限公司成立于2020年10月，专业从事半导体前道量测和检测设备的研发、制造和销售。公司产品涵盖半导体光学薄膜量测设备、半导体光学关键尺寸量测设备、半导体X射线薄膜量测设备、X射线成分及表面污染量测设备等系列产品，产品规格对标业界标杆。公司在深圳拥有近千平米的生产厂房，包括千级装配调测洁净间、百级和十级实验室洁净间。
优睿谱成立于2021年9月，由长期从事于半导体行业的海归博士领衔，协同国内资深的半导体前道制程量测设备技术团队共同发起成立，致力于打造高品质的半导体前道量测设备。2022年6月初，公司首台半导体专用FTIR(傅立叶变换红外光谱)测量设备Eos200正式交付客户，目前该设备已通过客户测试，正式在客户端上线使用。
苏州赛腾精密电子股份有限公司，成立于2007年，注册资本1.2亿元，总部坐落于中国苏州，在全国各地及海外设有分公司和服务据点。赛腾致力于为客户提供自动化解决方案，集非标自动化领域研发方案设计、精密加工、组装调试、安装培训和服务支持于一体。
上海精测半导体技术有限公司主要从事以半导体测试设备为主的研发、生产和销售，同时也开发一部分显示和新能源领域的检测设备。
法博思成立于2019年，是一家半导体测量设备研发商，致力于为半导体行业客户提供国产化、自主可控的量测设备。产品线方面，公司目前核心产品包括两大类：衬底片检测设备、晶圆级先进封装检测设备。其中，衬底片检测设备包括大硅片、三代半在内的各种衬底片几何形貌以及缺陷；晶圆级先进封装检测设备包括2D/3D的缺陷检测、粗糙度、TSV等轮廓检测以及OVERLAY和CD检测。
匠岭半导体从事半导体光学量测和检测装备的研发、制造和销售； 主要产品涵盖半导体光学薄膜量测机台、半导体光学线宽量测机台，半导体光学缺陷检测机台等。
合肥知常光电科技有限公司位于合肥国家高新技术产业开发区，公司主要致力于高端光机电一体化仪器、设备及装备的研发、生产和销售。企业主要产品包括精密激光检测仪器、大口径光学元件检测设备、以及各类精密激光加工设备等。
华矽盖泽半导体科技（上海）有限公司通过自主研发的多项专利技术，为半导体晶圆前道量检应用场景提供了一系列可以替换进口的国产化解决方案。目前，盖泽半导体已突破4英寸、6英寸、8英寸、12英寸晶圆前道量测技术，覆盖FTIR膜厚量测技术、FTIR元素浓度量测技术、EDXRF X射线量测技术等，可应用于硅、碳化硅、氮化镓、砷化镓、磷化铟等材料晶圆的量检需求。设备已经量产并向多家央企、国企、上市晶圆厂等知名半导体公司交付，并用于晶圆批量量测中。盖泽半导体深耕于半导体前道量检领域，通过自主研发的光路技术、软件分析技术、自动化技术等，突破行业壁垒，助力中国半导体前道量测市场实现设备自产化，为半导体行业贡献自己的力量。
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